讲座题目：超精密制造与集成电路工艺与装备

主 讲 人：罗锋 教授（南开大学）

讲座时间：11月1日（周二）上午9：15-10：30

讲座地点：钱伟长楼211会议室、腾讯会议室： 725-973-977

欢迎有兴趣的师生前来聆听！

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2022年10月27日

讲座内容简介：

针对Sub-7nm以下先进工艺节点中涉及的新材料和新器件，以及相关的失效检测方法，重点围绕光刻，刻蚀，沉积等集成电路装备的现状和研发趋势和技术挑战，系统介绍团队在此领域的相关工作与布局。

主讲人简介：

罗锋现任南开大学材料科学与工程学院讲席教授，西安交通大学兼职讲座教授(2018-2020)。1995 年至 2004 年就读于北京大学化学与分子工程学院，获学士和博士学位。2004年至 2009年在德国和瑞士从事博后工作，2009年至2010年在北京大学工学院担任PI特聘研究员。2010年至2020年就职于西班牙高等研究院纳米研究所，历任副研究员、研究员、终身制资深研究教授，2020 年至今就职于南开大学，先后入选欧盟玛丽居里学者、西班牙杰出青年基金、西班牙 I3 杰出教授、第十五批国家重大人才项目、第九届侨界贡献奖等，目前担任深圳综合粒子研究院科创委委员，深圳产业光源集成电路板块顾问，上海光源用户委员会委员，兰州航空集成电路与新材料研究院理事，内蒙古科学技术研究院科学技术委员会委员，中国感光学会光刻材料与技术专业委员会委员。